觀點網訊：據金橋集團消息，御微半導體自研的面向先進製程掩模基板缺陷檢測設備Halo-300於10月8日正式發運國內頭部掩模基板客戶。

據金橋集團介紹，該設備將支撐先進製程掩模基板高精度缺陷檢測需求，補齊國產掩模基板檢測裝備的關鍵短板。

據金橋集團消息，Halo系列是御微佈局掩模量檢測領域的重要一環。自2024年可覆蓋65nm及以上製程節點的初代機型Halo-100交付落地以來，該系列已持續獲得行業頭部客戶的批量復購訂單。

據金橋集團介紹，此次發運的Halo-300在檢測靈敏度上實現大幅提升。御微半導體總裁王帆表示，此次交付邁出了國產高端檢測設備進入掩模基板產線的堅實一步，未來御微將與客戶共同推進該設備進入高端量產環節。