觀點網訊：近日，中微公司宣佈，Primo Domingo®氣相高選擇性刻蝕設備全球首臺機順利付運國內重要集成電路研發製造客戶。

據公司發佈，芯片架構三維化正成為支持芯片持續縮微的重要動能，而高選擇性刻蝕工藝是三維器件製造的最關鍵工藝之一。

針對GAA、3D NAND、3D DRAM等器件工藝需求，中微公司在高選擇性刻蝕設備領域實現突破，填補了國內在下一代3D半導體器件製造中關鍵刻蝕工藝的自主化空白。