觀點網訊：中微半導體設備（上海）股份有限公司（中微公司，688012.SH）披露2026年第三季度報告，前三季度營業收入人民幣103.26億元，同比增長約28.08%；歸屬於上市公司股東的淨利潤41.34億元，較去年同期增長約241.31%。
單季看，第三季度營業收入人民幣36.35億元，同比增長17.18%；歸母淨利潤13.09億元，同比增長159.02%；扣除非經常性損益的淨利潤5.00億元，同比增長43.77%。
前三季度扣除非經常性損益的淨利潤約人民幣16.23億元，較上年同期增加7.36億元，增長約83.01%，主要由於營業收入增長下毛利增加10.21億元，以及研發費用較上年同期增加2.35億元。
公告顯示，前三季度公司研發支出32.22億元，較去年同期增長約27.70%，佔營業收入比例約31.20%，公司目前同時推進六大類、超20款新設備的研發。
歸母淨利潤增長的另外兩項因素為：對外股權投資產生公允價值變動收益和投資收益合計約人民幣19.40億元，較上年同期的3.49億元增加約15.91億元；公司本期出售了部分持有的拓荊科技股份有限公司股票，產生投資收益約9.53億元。
截至2026年9月末，公司總資產人民幣403.85億元，較上年度末增長35.31%；歸屬於上市公司股東的所有者權益314.08億元，較上年度末增長38.39%。前三季度經營活動產生的現金流量淨額為-1.05億元，第三季度為-7.90億元；前三季度基本每股收益6.34元/股，加權平均淨資產收益率16.41%，同比增加10.54個百分點。
業務方面，公司已開發出54種高端半導體設備，包括26種高能和低能等離子體刻蝕機設備、24種各類薄膜設備、化學機械拋光設備和部分量檢測設備，刻蝕和薄膜設備的加工精度已達到原子級水平；截至2026年9月底，累計已有超過9300個反應臺在國內外生產線實現量產。