觀點網訊：據施耐德電氣介紹，芯片光刻工序對溫度極其敏感，溫度波動0.5℃，光刻圖案就可能出現模糊、粘連，良率隨之暴跌20%～30%。
此外，一粒微米級的灰塵落在晶圓上，曝光之後電路圖案將留下不可修復的缺陷，整片晶圓只能報廢。晶圓製造對溫度、濕度、潔淨度、壓力的要求極為苛刻，每一個參數都必須被鎖定。
據介紹，支撐精密環境依靠一整套廠務設備24小時協同運轉，涵蓋高低壓配電、暖通空調、工業純水與超純水、特種氣體與化學品供應、空壓動力以及廢氣廢水處理等關鍵基礎設施系統。
但一座半導體廠房內往往交織着數十個子系統，這些系統可能由不同廠商提供，軟硬件協議異構，缺乏統一的數據接口與通信標準，形成“數據孤島”，管理人員只能依靠傳統儀表和人工巡檢感知工廠狀態。
針對上述問題，施耐德電氣推出FMCS智慧廠務系統，統一管控全廠環境數據。據介紹，現場執行端變頻器根據實時溫度無級調節電機轉速，將水溫風溫迅速拉回平穩區間，把溫控精度鎖在±0.1℃。